帶你了解PDS固態(tài)擴散源(二)

2020年06月30日

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3.PDS固態(tài)源有那么多優(yōu)勢為什么我?guī)缀鯖]有聽說過?


PDS固態(tài)源在世界范圍內(nèi)有非常多的商業(yè)量產(chǎn)的實績,幾十年來客戶的持續(xù)使用也證明了產(chǎn)品的穩(wěn)定性。在中國早期有非常多的工程師了解這個工藝。由于離子注入和液態(tài)氣態(tài)有非常多的從業(yè)者從而導致整個工藝為行業(yè)所熟悉,高端的會選用離子注入,低端的會選擇液態(tài)氣態(tài)。目前由于1)國家環(huán)保要求,液態(tài)氣態(tài)源的生產(chǎn)會面臨一定的環(huán)保風險, 2)MEMS器件的生產(chǎn)擴張,高濃度擴散需要熱擴散工藝,3)中高品位產(chǎn)品的需求增長,PDS固態(tài)源收到了越來越多的詢盤。

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4.PDS固態(tài)源有什么局限性?


PDS固態(tài)源目前可以做到的極限尺寸為8“;
只能適用于水平爐管而不能用于垂直爐管;
原來液態(tài)氣態(tài)擴散路需要進行氣路改造才能使用,過程需要通氮氣;
需要專用的石英舟配合.

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5.PDS固態(tài)源的技術(shù)支持夠嗎?


圣戈班從事該產(chǎn)品的生產(chǎn)快50年,過去有自己的擴散爐設(shè)備,在一次又一次的售前售后技術(shù)支持中,累計大量的實際生產(chǎn)數(shù)據(jù)以及問題解決的方案。我們絕不是只銷售產(chǎn)品,我們也提供相關(guān)的工藝支持,石英舟涉及,使用知道手冊等書面資料,在每一個客戶的不同要求里,我們會提供有針對性的解決方案。

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http://gokorea.cn/ceramic/product/abrasive-grains

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